衬底负偏压增强金刚石成核机制的研究进展

• 作者: 廖克俊 王万录 王必本 肖金龙
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 衬底负偏压 成核机制 金刚石膜
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 所属期刊栏目: 材料综述
• 页码范围: 44-45
• 页数: 2页
• 分类号: TB3
• 字数: 3177字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2000.04.017

摘要

综述了近几年来对衬底负偏压增强金刚石成核机制的研究,并且对各种机制进行了分析和讨论,提出了今后有待研究的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王万录	重庆大学理学院应用物理系	109	849	16.0	22.0
2	廖克俊	重庆大学理学院应用物理系	66	513	12.0	19.0
3	王必本	重庆大学理学院应用物理系	15	91	5.0	9.0
4	肖金龙	重庆大学理学院应用物理系	7	21	3.0	4.0