Monte Carlo方法计算薄膜厚度测定背散射常数C(E0)

• 作者: 何延才 谭震宇
• 来源期刊: 山东工业大学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 蒙特卡罗方法 电子束/薄膜 背散射
• 年，卷（期）: 2000,（6）
• 页码范围: 528-534
• 页数: 7页
• 分类号: O562.5
• 字数: 1959字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-3961.2000.06.006

摘要

应用蒙特卡罗方法模拟5 keV以下低能电子在Al,Cu,Ag,Au薄膜中的散射. 模型应用Mott散射截面和Joy方法修正的Bethe方程描述和计算低能电子在固体中弹性和非弹性散射.计算了薄膜背散射系数η随薄膜厚度D的变化,获得不同能量下的η～D关系并给出相应线性区Dmax分布.分析了η～D曲线初始线性区在低能时及随原子序数的变化,统计并应用最小二乘法计算得E0为3,4,5 keV下的背散射常数C(E0)以测定超薄膜厚度.给出一个E0从几keV到几十keV能量范围计算背散射常数的经验公式,由此计算Al,Cu,Au超薄膜、薄膜不同厚度时的η并与Fitting,Cosslett的实验比较,获得了吻合的结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭震宇	山东大学电力工程学院	32	502	11.0	22.0
2	何延才	中国科学院上海硅酸盐研究所	5	19	3.0	4.0