镱薄膜高压传感器的准静态压阻特性研究

• 作者: 伍隽 杜晓松 杨邦朝 王卉
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 关键词: 镱传感器 薄膜 压阻系数 准静态压缩
• 年，卷（期）: 2000,（9）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 12-14
• 页数: 3页
• 字数: 2756字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2000.09.005

摘要

采用真空蒸发技术在聚酰亚胺、云母、陶瓷等基板上制作了镱薄膜传感器，研究了该传感器在70MPa～2GPa范围内准静态单轴压缩载荷下电阻－压力的变化关系。结果表明该传感器精度高、重复性好、工艺简单。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜晓松	电子科技大学信息材料工程学院	61	434	12.0	16.0
2	杨邦朝	电子科技大学信息材料工程学院	253	3422	31.0	49.0
3	王卉	电子科技大学信息材料工程学院	3	28	3.0	3.0
4	伍隽	电子科技大学信息材料工程学院	6	23	3.0	4.0