纳米硅薄膜的拉曼谱研究

• 作者: 徐刚毅 王天民 王金良
• 来源期刊: 兰州大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米硅薄膜 拉曼谱 声子限制模型
• 年，卷（期）: 2000,（5）
• 页码范围: 47-53
• 页数: 7页
• 分类号: TN386.6
• 字数: 3377字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0455-2059.2000.05.009

摘要

通过等离子增强化学汽相沉积法,制备了本征和掺磷的氢化纳米硅薄膜(nc-Si∶H), 研究了晶粒尺寸和掺杂浓度对纳米硅薄膜拉曼谱的影响.结果表明晶粒变小和掺杂浓度增加都使纳米晶粒的TO模峰位逐渐偏离声子限制模型的计算值.X-射线衍射和透射电镜像的结果表明晶粒变小导致硅晶粒应力增加,而掺杂使晶粒内部杂质和缺陷增多,这些因素破坏了晶粒内晶格的平移对称性,进一步减小声子的平均自由程,导致实验值偏离理论计算值.晶格平移对称性的破缺还体现在,随晶粒尺雨减小或掺杂浓度增加,拉曼谱中TA,LA振动模的相对散射强度增加.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王天民	兰州大学物理科学与技术学院	140	1545	22.0	32.0
3	徐刚毅	兰州大学物理科学与技术学院	3	46	2.0	3.0
6	王金良	北京航空航天大学材料物理与化学研究中心	24	125	7.0	10.0