工业变送器用75系列扩散硅压力传感器

• 作者: 吴丁民 李妍君 李颖
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 工业 变送器 传感器
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 4-6,9
• 页数: 4页
• 分类号: TM93
• 字数: 3922字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2000.02.002

摘要

介绍了工业变送器用75系列扩散硅压力传感器.其整体结构为全固态结构;其硅膜片结构分别为C型、E型和EI型三种形式;测量范围为0.6kPa～50MPa;使用温区为-30～+80℃;全量程、全系列地满足了工业变送器的使用需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李颖		3	4	1.0	2.0
2	李妍君		3	34	1.0	3.0
3	吴丁民		1	0	0.0	0.0