强激光光学元件表面功率谱密度函数估计

• 作者: 徐德衍 沈卫星
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 功率谱密度函数 表面轮廓测量
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 392-396
• 页数: 5页
• 分类号: TH741.3
• 字数: 2796字
• 语种: 中文

摘要

在扼要描述了光学元件表面轮廓测量中功率谱密度(PSD)函数的基本概念、公式和应用基础上,重点讨论了光学元件表面低频和中高频空间频率PSD对光场分布的影响,并给出了强激光光学元件表面PSD函数曲线的几个实测结果.