功能成品率估算的缺陷特征参数提取方法

• 作者: 张卫东 赵天绪 郝跃 马佩军
• 来源期刊: 电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电路 功能成品率 参数提取
• 年，卷（期）: 2000,（8）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 76-78
• 页数: 3页
• 分类号: TN406
• 字数: 2074字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0372-2112.2000.08.022

摘要

基于微电子测试双桥结构,本文给出了缺陷特征参数提取方法.这些特征参数包含了缺陷在硅片上的空间分布和粒径(直径)分布,它们对集成电路功能成品率仿真是重要的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝跃	西安电子科技大学微电子研究所	312	1866	17.0	25.0
2	张卫东	西安电子科技大学微电子研究所	16	81	5.0	8.0
3	马佩军	西安电子科技大学微电子研究所	34	163	8.0	10.0
4	赵天绪	西安电子科技大学微电子研究所	23	88	6.0	8.0