针孔缺陷对集成电路功能成品率影响分析与仿真

• 作者: 刘红侠 郝跃 马佩军
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电路 Monte-Carlo方法 仿真
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 102-106
• 页数: 5页
• 分类号: TN43
• 字数: 3408字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2001.01.019

摘要

对集成电路针孔缺陷引起功能成品率下降的模型进行了研究，给出了分析和仿真针孔功能成品率的两种计算方法——Monte-Carlo方法和关键面积提取方法，这对集成电路成品率设计和分析是非常重要的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝跃	西安电子科技大学微电子所	312	1866	17.0	25.0
2	马佩军	西安电子科技大学微电子所	34	163	8.0	10.0
3	刘红侠	西安电子科技大学微电子所	91	434	10.0	15.0