VLSI成品率预测与仿真

• 作者: 林锐 郝跃 马佩军
• 来源期刊: 电子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 超大规模集成电路 功能成品率 预测和仿真
• 年，卷（期）: 1999,（2）
• 所属期刊栏目: 学术论文与技术报告
• 页码范围: 55-58
• 页数: 4页
• 分类号: O4
• 字数: 3817字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0372-2112.1999.02.016

摘要

本文建立IC光刻工艺相关缺陷计算模型和基于Monte Carlo统计成品率计算模型.阐述了集成电路功能成品率仿真系统XD-YES实现,讨论了应用XD-YES实现功能成品率设计,并给出该系统实用性验证.研究分析表明,其结果与实际结果符合很好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝跃	西安电子科技大学微电子所	312	1866	17.0	25.0
2	马佩军	西安电子科技大学微电子所	34	163	8.0	10.0