矩形缺陷轮廓的成品率模型

• 作者: 王俊平 郝跃
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 真实缺陷 矩形缺陷模型 关键面积 成品率模型
• 年，卷（期）: 2005,（8）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 1514-1518
• 页数: 5页
• 分类号: TN43
• 字数: 835字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.08.007

摘要

现有成品率及关键面积估计模型中,假定缺陷轮廓为圆,而实际缺陷轮廓为非规则形状.本文提出了矩形缺陷轮廓的成品率模型,该模型与圆模型相比,考虑了缺陷的二维分布特性,接近真实缺陷形状及IC版图布线和成品率估计的特点.比较了新模型与真实缺陷及其圆模型引起的成品率损失,表明新模型在成品率估计方面更加精确,这对成品率精确估计与提高有重要意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝跃	西安电子科技大学微电子学院宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室	312	1866	17.0	25.0
2	王俊平	西安电子科技大学微电子学院宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室	31	284	10.0	16.0