椭圆缺陷轮廓的成品率估计

• 作者: 任春丽 张卓奎 方建平 李康 王俊平 郝跃
• 来源期刊: 西安电子科技大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 真实缺陷 椭圆缺陷模型 关键面积 成品率模型
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 页码范围: 433-437
• 页数: 5页
• 分类号: TN43
• 字数: 2358字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2400.2006.03.021

摘要

现有成品率及关键面积估计模型中,假定缺陷轮廓为圆,而70%的实际缺陷轮廓接近于椭圆.提出了椭圆缺陷轮廓的成品率模型,该模型与圆模型相比更具有一般性,而圆模型轮廓的成品率模型仅为新模型的特例.比较了新模型与真实缺陷及其圆模型引起的成品率损失,表明新模型在成品率估计方面更加精确.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝跃	西安电子科技大学宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室	312	1866	17.0	25.0
2	李康	西安电子科技大学宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室	21	146	7.0	11.0
3	任春丽	西安电子科技大学理学院	16	17	2.0	4.0
4	王俊平	西安电子科技大学宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室	31	284	10.0	16.0
8	张卓奎	西安电子科技大学理学院	23	111	6.0	10.0
9	方建平		13	118	6.0	10.0