VLSI集成电路参数成品率及优化研究进展

• 作者: 荆明娥 郝跃 马佩军
• 来源期刊: 电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: VLSI设计方法学 参数成品率 最优化设计
• 年，卷（期）: 2003,（z1）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 1971-1974
• 页数: 4页
• 分类号: TN405
• 字数: 4807字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0372-2112.2003.z1.006

摘要

VLSI的参数成品率是与制造成本和电路特性紧密相关的一个重要因素,随着集成电路(IC)进入超深亚微米发展阶段,芯片工作速度不断增加,集成度和复杂度提高,而工艺容差减小的速度跟不上这种变化,因此参数成品率的研究越来越重要.本文系统地讨论了参数成品率的模型和设计技术研究进展,分析不同技术的特点和局限性.最后提出了超深亚微米(VDSM)阶段参数成品率设计和成品率增强面临的主要问题及发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝跃	西安电子科技大学微电子研究所	312	1866	17.0	25.0
2	马佩军	西安电子科技大学微电子研究所	34	163	8.0	10.0
3	荆明娥	西安电子科技大学微电子研究所	10	44	4.0	6.0