测量总论

• 来源期刊: 电子科技文摘
• 学科: 工学
• 关键词: 非均匀性 线宽测量 电阻率 影响研究 电子测量技术 去相关检测器 交流电能表检定装置 总论 不确定度分析 不确定度表示
• 年，卷（期）: dzkjwz_2000,（4）
• 页码范围: 90-91
• 页数: 2页
• 分类号: TN

摘要

【正】 Y2000-62031-161 0006455光临近校正(OPC)和非均匀性对电阻率和线宽测量性能的影响研究=Investigation of optical proximity cor-rection(OPC)and non-(?)formities on the performariceof resistivity and linewidth measurements[会,英]/Smith, S. & Walton, A(?)//1999 IEEE InternationalConference on Microelectronic Test Structures.—161～166(AZ)