轰击阴极的重粒子能量分布

• 作者: 于威 傅广生 张连珠
• 来源期刊: 核聚变与等离子体物理
• 学科: 物理学
• 关键词: 辉光放电 蒙特卡罗方法 重粒子 能量分布
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 94-100
• 页数: 7页
• 分类号: O461.2
• 字数: 3235字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-6086.2001.02.005

摘要

采用蒙特卡罗模拟对氮辉光放电等离子体中轰击阴极的重粒子(N＋２，N＋，Nf及N2f)能量分布随放电参数的变化规律进行了研究。结果表明：阴极壁前诸粒子的能量分布取决于粒子被加速的能量和碰撞频率，能量较低的快原子Nf的密度比高能粒子N＋的密度高近两个量级。在活性氮粒子(N＋，Nf)产率最高的放电条件下，适当降低放电气压，提高阴极位降和气体温度，有利于两种活性氮粒子(N＋，Nf)达到阴极。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅广生	河北大学物理系	184	817	13.0	17.0
2	于威	河北大学物理系	91	346	9.0	13.0
3	张连珠	河北师范大学物理系	25	66	4.0	7.0