溶胶-凝胶法制备的ZrO2薄膜的摩擦学性能研究

• 作者: 刘维民 陈云霞
• 来源期刊: 摩擦学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 ZrO2薄膜 摩擦学性能 磨损机理
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 274-278
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4|TG115.5+8
• 字数: 2222字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-0595.2001.04.008

摘要

在Si(100)基片上制备晶态ZrO2薄膜,考察了薄膜的摩擦学性能和摩擦磨损机制.结果表明:在低负荷(0.5 N)下,ZrO2薄膜与GCr15钢球和Si3N4陶瓷球对摩时具有优良的抗磨减摩性能,在滑动5 000次时的摩擦系数分别为0.14和0.13;但随着负荷和滑动速度的增大,薄膜的耐磨寿命降低,摩擦系数增大.采用扫描电子显微镜对薄膜磨痕表面形貌进行观察分析,发现在较低负荷和滑动速度条件下,ZrO2薄膜的磨损机制为轻微擦伤;而在相对较高的负荷和滑动速度条件下,其磨痕表面呈现塑性变形,严重擦伤和断裂剥落特征.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘维民	中国科学院兰州化学物理研究所	307	5597	38.0	57.0
2	陈云霞	中国科学院兰州化学物理研究所	13	219	10.0	13.0