由红外透过谱确定金刚石膜的光学常数及相关因素

• 作者: 孙亦宁 张继华 李敬起 郭晚土 高欣
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 工学
• 关键词: 光学常数 透过率 金刚石
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 144-148
• 页数: 5页
• 分类号: O433.4|TQ164
• 字数: 3206字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2001.03.005

摘要

结合金刚石膜的具体情况,考虑到色散效应、膜的微结构、表面粗糙度及样品中自由载流子和C-H的吸收等多种因素对红外透过谱的影响,在无吸收单层膜透过率模型的基础上进行了修正,给出了自支撑金刚石薄膜透过率的数学模型.并对不同制备方法和工艺参数下沉积的金刚石膜的红外透过谱用Levenberg-Mar-quardt算法进行非线性最小二乘拟合,从而确定出样品的红外光学常数和其它影响透过率的因素.这些结果对正确分析金刚石薄膜的红外光学性质是很重要的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高欣		8	84	4.0	8.0
2	郭晚土		2	11	2.0	2.0
3	张继华		1	4	1.0	1.0
4	孙亦宁		1	4	1.0	1.0
5	李敬起		1	4	1.0	1.0