用于扩展SPM检测范围的精密定位系统

• 作者: 孙涛 董申
• 来源期刊: 电子显微学报
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描探针显微镜 精密定位技术 三维测量
• 年，卷（期）: 2001,（5）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 669-672
• 页数: 4页
• 分类号: TP202.2|TN16
• 字数: 2531字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-6281.2001.05.027

摘要

本文介绍了所研制的二维微定位柔性系统和一维精密转动系统,进行了相关技术的研究并给出了设计参数.使SPM能够满足高精度下的大尺寸平面样品以及球形被测样品的全范围检测,扩大了扫描探针显微镜(SPM)在超精密工程中的应用范围.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董申	哈尔滨工业大学精密工程研究所	232	4378	35.0	50.0
2	孙涛	哈尔滨工业大学精密工程研究所	124	1024	17.0	23.0