Y60A单晶炉慢速提拉控制系统设计

• 作者: 梁秀梅
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶炉 提拉速度 速度控制系统
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 论文研制报告
• 页码范围: 34-37
• 页数: 4页
• 分类号: TF806.9
• 字数: 1999字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2001.03.007

摘要

在单晶生产过程中,对单晶提拉速度有十分严格的要求,针对实际情况设计并分析了一种实用的、在极低转速下调速的控制系统.用该系统来控制提拉机械,具有结构简单、造价低的特点,实测表明系统的性能满足生产要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁秀梅		11	65	6.0	7.0