微细台阶测量技术的发展现状

• 作者: 李庆祥 白立芬 薛实福 黄成伟
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 微细台阶 纳米技术 接触式测量 非接触式测量
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 1-6
• 页数: 6页
• 分类号: TM930.1
• 字数: 2961字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2001.02.001

摘要

微细台阶参数是大规模集成电路和微机械结构制作过程的重要技术指标,直接影响器件和构件的特性,目前要求台阶测量应具有纳米级精度.概要介绍了台阶测量技术的发展情况,阐述了非接触台阶测量和接触式台阶测量技术,从测量原理、测量精度与分辨率、适用范围、对被测对象的要求与影响等几方面分析了各种测量方法的特点,并得出了结论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李庆祥	清华大学精密仪器与机械学系	84	2180	20.0	45.0
2	白立芬	清华大学精密仪器与机械学系	23	478	10.0	21.0
3	薛实福	清华大学精密仪器与机械学系	8	44	4.0	6.0
4	黄成伟	清华大学精密仪器与机械学系	5	71	5.0	5.0