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单晶硅表面全氟聚醚润滑膜的制备及摩擦特性研究
单晶硅表面全氟聚醚润滑膜的制备及摩擦特性研究
作者:
余来贵
杨生荣
王金清
齐尚奎
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
单晶硅
全氟聚醚润滑膜
接触角
摩擦特性
摘要:
利用浸涂技术在单晶硅基片上成功地制备出极性全氟聚醚润滑膜,在DF-PM型动-静摩擦系数精密测定装置上考察了润滑膜的摩擦特性,并采用接触角测定仪和X射线光电子能谱仪对润滑膜的表面性质和化学状态进行了表征.结果表明,与基片相比,经烘烤处理后的全氟聚醚润滑膜同钢对摩时的摩擦系数显著降低.经60次摩擦后,摩擦系数迅速增大到0.22左右,此时润滑膜被磨穿;此后摩擦系数缓慢增加,当摩擦次数达到200次左右时,摩擦系数稳定于0.42附近,低于单晶硅片相应的摩擦系数.这可能是由于基片表面的全氟聚醚在滑动过程中向钢球表面发生转移所致.
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MEMS器件
微纳米尺度单晶硅各向异性表面的切削特性
微纳米尺度
单晶硅
切削特性
刻划实验
内容分析
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引文网络
相关学者/机构
相关基金
期刊文献
内容分析
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相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
篇名
单晶硅表面全氟聚醚润滑膜的制备及摩擦特性研究
来源期刊
摩擦学学报
学科
化学
关键词
单晶硅
全氟聚醚润滑膜
接触角
摩擦特性
年,卷(期)
2001,(6)
所属期刊栏目
研究论文
研究方向
页码范围
401-404
页数
4页
分类号
O635.2
字数
2353字
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:1004-0595.2001.06.001
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
余来贵
中国科学院兰州化学物理研究所
23
671
13.0
23.0
2
杨生荣
中国科学院兰州化学物理研究所
104
1439
18.0
34.0
3
齐尚奎
中国科学院兰州化学物理研究所
18
123
6.0
10.0
4
王金清
中国科学院兰州化学物理研究所
37
250
9.0
13.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献
(1)
共引文献
(5)
参考文献
(12)
节点文献
引证文献
(17)
同被引文献
(28)
二级引证文献
(109)
1986(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
1989(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
1993(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
1994(2)
参考文献(2)
二级参考文献(0)
1996(2)
参考文献(2)
二级参考文献(0)
1997(2)
参考文献(1)
二级参考文献(1)
1998(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
1999(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2000(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2001(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2001(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
2002(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
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引证文献(1)
二级引证文献(1)
2004(3)
引证文献(0)
二级引证文献(3)
2005(4)
引证文献(3)
二级引证文献(1)
2006(2)
引证文献(1)
二级引证文献(1)
2007(11)
引证文献(4)
二级引证文献(7)
2008(9)
引证文献(0)
二级引证文献(9)
2009(9)
引证文献(2)
二级引证文献(7)
2010(12)
引证文献(1)
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2011(11)
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二级引证文献(13)
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二级引证文献(2)
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引证文献(0)
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研究主题发展历程
节点文献
单晶硅
全氟聚醚润滑膜
接触角
摩擦特性
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
摩擦学学报
主办单位:
中国科学院兰州化学物理研究所
出版周期:
双月刊
ISSN:
1004-0595
CN:
62-1095/O4
开本:
大16开
出版地:
甘肃省兰州市天水中路18号
邮发代号:
54-42
创刊时间:
1981
语种:
chi
出版文献量(篇)
2442
总下载数(次)
5
总被引数(次)
39808
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
期刊文献
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