二氧化锡衬底上Sol-Gel PLT膜的性能研究

• 作者: 李坤 李金华 汤国英 袁宁一 陈王丽华
• 来源期刊: 江苏石油化工学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: PLT薄膜 氧化物电极 溶胶-凝胶法
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: TN384|TB43|O484.1|O484.4
• 字数: 2684字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-0411.2001.02.001

摘要

用Sol-Gel钛酸镧铅（PLT）溶胶，在CVD法沉积生成的二氧化锡/玻璃衬底上旋转涂胶成膜。经快速热退火（RTA）处理后，用X射线衍射（XRD）测试了膜的结晶取向，用RT66A测试了膜的电学性能。结果表明，Sol-Gel PLT膜在SnO2衬底上能正常结晶，结晶温度与在Pt衬底上一致，结晶取向以〈100〉为主取向。10 V时，SnO2衬底上厚度为0.56 μm的PLT膜的漏电约为5.6×10-7 A/mm2, 比Pt衬底上同等厚度的PLT膜高约一个数量级。膜的剩余极化强度Pr=24 μC/cm2，比Pt衬底上的高。PLT/SnO2的疲劳特性优于PLT/Pt结构。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈王丽华		27	186	7.0	13.0
2	李坤		5	12	2.0	3.0
3	李金华		12	208	7.0	12.0
4	袁宁一		7	100	4.0	7.0
5	汤国英		3	14	2.0	3.0