硅-玻璃静电键合中的电流-时间特性分析

• 作者: 史衍丽 吴苗 杜金玉 沈光地 董欣 邓军 邹德恕 高国
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 静电键合 电流-时间特性 微机械
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 页码范围: 48-50，53
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 2428字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2001.03.017

摘要

在微传感器和微机械结构的静电键合实验中，当加电压到键合片对上时，外电路的电流迅速上升到一定值后，不是逐渐减小，而是较缓慢的继续上升，或在某一值停留一段时间再逐渐减小到最小值。通过对实验现象的分析，认为键合的电流-时间特性主要是下述两个过程的综合反映，键合过程中接触电阻的减小引起的电流增大和空间电荷区形成引起的电流减小，正是由于这两个主要因素导致了上述现象的存在。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈光地	北京工业大学北京光电子技术实验室	192	1444	18.0	29.0
2	邓军	北京工业大学北京光电子技术实验室	57	219	7.0	10.0
3	邹德恕	北京工业大学北京光电子技术实验室	58	270	10.0	12.0
4	高国	北京工业大学北京光电子技术实验室	22	459	8.0	21.0
5	史衍丽	北京工业大学北京光电子技术实验室	4	25	3.0	4.0
6	杜金玉	北京工业大学北京光电子技术实验室	8	40	4.0	6.0
7	董欣	北京工业大学北京光电子技术实验室	1	8	1.0	1.0
8	吴苗	北京工业大学北京光电子技术实验室	1	8	1.0	1.0