准分子激光烧结玻璃衬底上多晶硅薄膜材料的制备

• 作者: 刘传珍 张玉 荆海 邱法斌 骆文生 黄锡珉
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 物理学
• 关键词: 多晶硅膜 准分子激光烧结 玻璃衬底 制备
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 170-175
• 页数: 6页
• 分类号: O484.1
• 字数: 3062字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2780.2001.03.002

摘要

在PECVD法制备a-Si∶H薄膜材料基础上, 以XeCl准分子激光烧结为手段, 对在玻璃衬底上制备多晶硅薄膜材料的工艺条件进行了探索, 利用XRD、 SEM、 Raman光谱等分析测试手段对所制备材料的结构特征进行了表征. 较高的衬底温度、合适的激光能量密度和脉冲频率, 有利于获得高质量的多晶硅薄膜.