TiO2薄膜结构的研究

• 作者: 吴争鸣 李文军 武正簧
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 工学
• 关键词: 二氧化钛 薄膜 晶体结构
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 81-84
• 页数: 4页
• 分类号: TB332|O484.1|TB79
• 字数: 3126字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2001.02.005

摘要

研究了沉积温度和退火温度对TiO2薄膜结构的影响.当沉积温度在110～250℃时,薄膜结构为无定型,350～500℃时为锐钛型,600℃以上是金红石;当退火温度在600℃时,TiO2薄膜为锐钛型;800℃以上是金红石.氧气的加入能够影响薄膜的沉积速率,但不影响薄膜的晶体结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	武正簧	太原理工大学化学工程与技术学院	30	359	12.0	18.0
2	李文军	太原理工大学化学工程与技术学院	2	33	2.0	2.0
3	吴争鸣	太原理工大学化学工程与技术学院	3	67	3.0	3.0