测试因素对CVD金刚石膜断裂强度的影响

• 作者: 刘敬明 吕反修 唐伟忠 张恒大 蒋政
• 来源期刊: 理化检验-物理分册
• 学科: 工学
• 关键词: 三点弯曲 断裂强度 抛光 加载方式
• 年，卷（期）: 2001,（6）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 236-239
• 页数: 4页
• 分类号: TG111.91
• 字数: 2366字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4012.2001.06.002

摘要

利用三点弯曲测量CVD金刚石膜的断裂强度的方法,研究试样尺寸、抛光及加载方式对金刚石膜的断裂强度的影响.试样尺寸在一定范围内,试样大小、抛光与否对金刚石膜的断裂强度的影响不大;而10mm×2mm的试样对测量金刚石膜断裂强度具有意义.加载方式对金刚石膜的断裂强度影响较大,当金刚石膜形核面处于张应力时得到的断裂强度值要高于生长面处于张应力时得到的值,棱边加载方式得到断裂强度值处于两者之间,更具有代表性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕反修	北京科技大学材料科学与工程学院	151	1208	18.0	24.0
2	唐伟忠	北京科技大学材料科学与工程学院	106	860	16.0	21.0
3	张恒大	北京科技大学材料科学与工程学院	10	62	5.0	7.0
4	蒋政	北京科技大学材料科学与工程学院	7	41	4.0	6.0
5	刘敬明	北京科技大学材料科学与工程学院	11	91	6.0	9.0