微机械加工技术与微传感器

• 作者: 虞承端
• 来源期刊: 电子元器件应用
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械加工 微传感器 LIGA技术
• 年，卷（期）: 2001,（5）
• 页码范围: 29-32
• 页数: 4页
• 分类号: TP212

摘要

传感技术的一个重要发展方向是传感器的微型化，微机械加工技术同昌硅微传感器的基础工艺技术，也是制作微执行器和微电子机械系统的基础工艺技术。本文介绍微机械加工技术的概况以及采用微机械加工技术研制的几种微传感器。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	虞承端	中科院合肥智能机械研究所	2	0	0.0	0.0