MWPCVD制备金刚石膜装置的大功率稳定运行的研究

• 作者: 舒兴胜 邬钦崇
• 来源期刊: 高技术通讯
• 学科: 工学
• 关键词: MWPCVD装置 稳定运行 微波功率 金刚石膜
• 年，卷（期）: 2001,（7）
• 所属期刊栏目: 研究通讯
• 页码范围: 88-90
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 2924字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-0470.2001.07.022

摘要

介绍了水冷反应室式MWPCVD制备金刚石膜装置的结构和工作原理,着重讨论了该装置长时间大功率稳定运行的措施.该装置在微波输入功率为3.0kW时能长时间稳定运行.用该装置成功地在硅衬底上沉积出金刚石膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邬钦崇	中国科学院等离子体物理研究所	18	105	7.0	9.0
2	舒兴胜	中国科学院等离子体物理研究所	21	149	7.0	11.0