硅基光波导压力传感器

• 作者: 刘晓为 王东红 肖素艳 高明
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 压力传感器 硅 光波导 抗共振反射
• 年，卷（期）: 2002,（8）
• 所属期刊栏目: 综述与评论
• 页码范围: 4-7,10
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.14
• 字数: 3245字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2002.08.002

摘要

硅基光波导压力传感器由于具有灵敏度高、耐高温、抗电磁场干扰能力强、微型等优点,特别适合于在特殊环境中的应用.简要介绍了全反射光波导和抗共振反射光波导压力传感器的结构特点、工作原理及其研究现状.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高明		2	65	2.0	2.0