射频MEMS膜开关的力学解析模型

• 作者: 李拂晓 郑惟彬 黄庆安
• 来源期刊: 微波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 膜开关 模型 阈值电压
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 学术论文与技术报告
• 页码范围: 39-42,48
• 页数: 5页
• 分类号: TN62
• 字数: 2360字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-6122.2002.03.008

摘要

MEMS开关以其固有的低功耗、低插损和低交叉调制损耗等特性,在微波领域表现出巨大的应用潜力.但是目前大部分的研究工作都集中在设计新型开关结构和开关制作工艺上,对开关力学模型的研究较少.本文根据材料力学,通过合理的假设和简化,推导出MEMS开关的静电力解析模型,并详细探讨开关阈值电压和开关几何尺寸及材料特性之间的关系.这对MEMS开关的设计有一定的指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李拂晓		60	352	10.0	14.0