激光诱导化学气相沉积法制备纳米晶硅的制备参数和退火工艺的研究

• 作者: 何艳阳 刘颂豪 张海燕 梁礼正 王卫乡 陈可心
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: LiCVD法 纳米Si 制备参数 退火 红外吸收光谱
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 实验装置与元件
• 页码范围: 48-51
• 分类号: TN24
• 字数: 3235字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-2743.2002.02.015

摘要

用CO2红外激光诱导化学气相沉积的方法制备纳米Si,激光强度越大,则SiH4受热温度越高,纳米Si的成核率越高,纳米Si核的密度越大,每一个核生长所吸收的Si原子数目越少,从而所得的纳米Si粒小而均匀.当激光强度减小到一个低限阈值,则SiH4温度太低,不能裂解.SiH4的流速越快,则纳米Si成核后生长期越短,纳米Si粒也小而均匀.当SiH4流速快到一个高限阈值,则SiH4受热时间太短,升不到裂解所需的高温.以上2个产生纳米Si的阈值正相关.纳米Si制取后退火脱H,3440cm-1光谱带红移并增强,2150cm-1光谱带形状变化,1100cm-1光谱带由低频处蓝移而来并展宽.这都表明含O键在纳米Si很大的表面上出现.为了减轻含O键出现,纳米Si应在Ar气氛中而不是在空气中,从低于300℃的温度开始退火.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张海燕	广东工业大学应用物理系	195	1122	15.0	22.0
2	何艳阳	广东工业大学应用物理系	29	153	7.0	11.0
3	刘颂豪	华南师范大学量子电子研究所	308	3297	27.0	39.0
4	梁礼正	广东工业大学应用物理系	4	20	2.0	4.0
5	陈可心	华南师范大学量子电子研究所	4	41	3.0	4.0
6	王卫乡	华南师范大学量子电子研究所	4	16	2.0	4.0