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硅微谐振式加速度计的实现及性能测试
硅微谐振式加速度计
谐振器
差动结构
DDSOG
一种新型谐振加速度计
微机械加速度计
谐振块硅
不等基频硅微谐振式加速度计
加速度计
谐振器
耦合
不等基频
一种新型体硅谐振加速度计
MEMS加速度计
谐振激励和敏感
体硅工艺
频率漂移
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 自测试谐振加速度计
来源期刊 自动驾驶仪与红外技术 学科 工学
关键词 谐振加速度计 自测试 热力激发 机械振荡器 杜芬振荡器 传感器
年,卷(期) 2002,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 20-24
页数 5页 分类号 TH824.4
字数 语种 中文
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研究主题发展历程
节点文献
谐振加速度计
自测试
热力激发
机械振荡器
杜芬振荡器
传感器
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
自动驾驶仪与红外技术
季刊
上海宜山路710号
出版文献量(篇)
833
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