石英微机械惯性传感器的加工技术

• 作者: 张巧云 谭德生
• 来源期刊: 传感器世界
• 学科: 工学
• 关键词: 石英 微机械陀螺 各向异性刻蚀
• 年，卷（期）: 2002,（10）
• 所属期刊栏目: 技术与应用
• 页码范围: 22-24
• 页数: 3页
• 分类号: TP2
• 字数: 2030字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-883X.2002.10.005

摘要

本文讨论了石英微机械陀螺的基本结构和工作原理,叙述了用于石英加工的化学各向异性刻蚀机理,给出了石英音叉传感器的加工方法,提供了我们研制的石英微机械陀螺的试验结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭德生		1	9	1.0	1.0
2	张巧云		5	90	5.0	5.0