离子微调机的研究

• 作者: 杨世新
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 离子束 离子透镜 微调机
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 新设备·新机构
• 页码范围: 236-237,254
• 页数: 3页
• 分类号: TN605
• 字数: 1510字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2002.04.010

摘要

从理论上研究了离子微调机研制的核心技术,给出了离子透镜的焦距公式及合理设计和使用透镜参数的一些因素.