对几种薄膜硬度测试方法的评定

• 作者: 何家文 米彦郁 胡奈赛 陈华
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 复合硬度 显微硬度 纳米压入仪
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 20-23
• 页数: 4页
• 分类号: TG115.5+1|TG113.25+1
• 字数: 3358字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1007-9289.2002.03.006

摘要

用传统的显微硬度计直接测量薄膜硬度难以避免基体的影响且小载荷压入时产生的较小的压痕不易被准确测量.纳米压入仪是一种可以精确控制及测量压入深度的高精度仪器.这种通过测压入深度测硬度值的技术可以减少基体硬度对薄膜测量硬度的影响同时产生的误差较直接测压痕对角线的误差小.但是,纳米压入仪对试样表面光洁度要求高,仪器价格昂贵.这些都限制其在实际工业中的应用.较好的一种硬度测试方法是通过传统显微硬度计在不同的大载荷下测得膜基复合硬度,同时建立适当的模型计算出薄膜的本征硬度值.此方法可能更适合于常规应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何家文	西安交通大学金属材料强度国家重点实验室	81	1138	18.0	30.0
2	陈华	西安交通大学金属材料强度国家重点实验室	17	327	10.0	17.0
3	胡奈赛	西安交通大学金属材料强度国家重点实验室	17	245	7.0	15.0
4	米彦郁	西安交通大学金属材料强度国家重点实验室	3	125	3.0	3.0