高能离子注入聚酰亚胺薄膜表面结构研究

• 作者: 周惠华 唐国翌 朱静 陈锡花
• 来源期刊: 合成树脂及塑料
• 学科: 工学
• 关键词: 聚酰亚胺薄 膜离子注入 表面结构
• 年，卷（期）: 2002,（6）
• 所属期刊栏目: 结构与性能
• 页码范围: 37-40,44
• 页数: 5页
• 分类号: TQ32
• 字数: 3965字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1396.2002.06.011

摘要

应用透射电子显微镜研究了聚酰亚胺薄膜在无外加氮源、氢源参与的条件下,分别经过1.0,2.0,2.5MeV的He+注入改性后表面的微观结构变化,通过选区电子衍射和高分辨等手段分析,首次发现在注入He+后薄膜表层发生了不同程度的晶化,生成了类金刚石晶体和CNx微晶.经一定能量He+轰击后的聚酰亚胺薄膜的硬度、耐磨性及抗环境能力得到了提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱静	清华大学材料科学与工程研究院	80	1002	16.0	29.0
2	唐国翌	清华大学材料科学与工程研究院	65	861	17.0	26.0
3	陈锡花	清华大学材料科学与工程研究院	7	80	4.0	7.0
4	周惠华	清华大学材料科学与工程研究院	5	25	2.0	5.0