压电作动器在微力微位移装置中的应用

• 作者: 王海容 蒋庄德 赵则祥
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 压电陶瓷作动器 柔性铰链 加载机构
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 压电及其他功能器件
• 页码范围: 101-103
• 页数: 3页
• 分类号: TH112
• 字数: 1836字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2002.02.005

摘要

在微力微位移装置中采用闭环控制压电作动器实现微位移进给和微力加载,设计了加载机构,建立加载机构的压电作动器输入电压、加载装置输出位移和输出力之间的关系.通过电容测位移仪检测输出位移,实验得到加载系统刚度,根据压电作动器输入电压、加载装置刚度,计算出加载力大小.该方法为微机械力学性能测试仪打下了基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋庄德	西安交通大学精密工程研究所	165	1512	18.0	28.0
2	王海容	西安交通大学精密工程研究所	29	262	10.0	15.0
3	赵则祥	西安交通大学精密工程研究所	8	100	7.0	8.0