金属诱导晶化法制备多晶硅薄膜研究进展

• 作者: 何智兵 张溪文 杜丕一 沈鸽 王瑞春 翁文剑 赵高凌 韩高荣
• 来源期刊: 材料科学与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金属诱导 非晶硅 多晶硅 薄膜
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 热点评述
• 页码范围: 81-83,63
• 页数: 4页
• 分类号: TN304
• 字数: 3010字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2812.2002.01.024

摘要

本文介绍了金属诱导晶化非晶态硅制备多晶硅薄膜的新方法,综述了制备金属/非晶态硅复合薄膜的各种方法与晶化结果,着重介绍了金属低温诱导的机理及其在器件应用方面的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩高荣	浙江大学硅材料国家重点实验室	187	1971	24.0	35.0
2	翁文剑	浙江大学硅材料国家重点实验室	79	1088	20.0	30.0
3	张溪文	浙江大学硅材料国家重点实验室	43	309	11.0	16.0
4	赵高凌	浙江大学硅材料国家重点实验室	45	462	14.0	20.0
5	沈鸽	浙江大学硅材料国家重点实验室	46	783	15.0	27.0
6	何智兵	浙江大学硅材料国家重点实验室	5	52	3.0	5.0
7	王瑞春	浙江大学硅材料国家重点实验室	8	227	7.0	8.0