DLC薄膜中子辐照效应

• 作者: 刘贵昂 王天民 谢二庆
• 来源期刊: 核科学与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石薄膜 中子辐照 光谱 SP3C-C和SP2C-C键
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 157-160,165
• 页数: 5页
• 分类号: TL
• 字数: 2193字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-0918.2002.02.012

摘要

采用射频等离子体化学汽相沉积法得到了类金刚石(以下简称DLC)薄膜,并用能量为14 MeV的中子对其进行辐照,辐照剂量为1.4×1012 n/cm2～7.2×1012 n/cm2.通过Raman及红外光谱分析得出,中子辐照造成膜中SP3C-C键的明显减少及SP2C＝C键的增加,并形成少见的非晶型SP1C≡C键碳(直线型碳),使DLC膜进一步非晶化.经辐照后的DLC薄膜红外透过率均有所提高,在实验剂量范围内,基本上与辐照剂量无关.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王天民	北京航空航天大学理学院	140	1545	22.0	32.0
2	谢二庆	兰州大学物理科学与技术学院	84	371	11.0	14.0
3	刘贵昂	湛江海洋大学理学院	7	31	2.0	5.0