碲镉汞物理与化学钝化界面的AES研究

• 作者: 史伟民 吴汶海 居建华 李冬梅 桑文斌 王林军 钱永彪 闵嘉华
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: HgCdTe 表面钝化 界面
• 年，卷（期）: 2002,（z1）
• 所属期刊栏目: 发光和光探测器件
• 页码范围: 23-27
• 页数: 5页
• 分类号: TN2
• 字数: 2936字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2002.z1.006

摘要

采用化学和物理方法分别在Hg1-xCdxTe (MCT)表面制备了阳极氟化膜、CdTe、ZnS和类金刚石薄膜(DLC)钝化层.采用俄歇光谱(AES)和红外透射光谱(IR)研究了这些钝化层与MCT之间的界面特性.结果表明:与阳极氟化膜和CdTe膜相比,ZnS和DLC膜能较好地抑制MCT组元的外扩散.ZnS层中的Zn和S 易于向MCT内部扩散,而且发现在ZnS层中有O的存在,这可能是由于ZnS易与空气中水份发生作用所致.而DLC中C向MCT内表面扩散较少.MCT表面沉积DLC薄膜后红外透过率较ZnS有明显的提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	桑文斌	上海大学材料科学与工程学院	53	535	15.0	20.0
2	王林军	上海大学材料科学与工程学院	109	441	11.0	14.0
3	居建华	上海大学材料科学与工程学院	28	114	7.0	9.0
4	闵嘉华	上海大学材料科学与工程学院	54	281	10.0	15.0
5	钱永彪	上海大学材料科学与工程学院	14	108	6.0	10.0
6	史伟民	上海大学材料科学与工程学院	56	313	10.0	14.0
7	李冬梅	上海大学材料科学与工程学院	15	154	6.0	12.0
8	吴汶海	上海大学材料科学与工程学院	4	5	1.0	1.0