溶胶-凝胶法中热处理对PMNT薄膜结构的影响

• 作者: 丁爱丽 何夕云 罗维根 邸利锋
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 弛豫铁电体 溶胶-凝胶 热解 退火
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 299-305
• 页数: 7页
• 分类号: O484
• 字数: 3111字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2002.02.019

摘要

研究用溶胶-凝胶方法制备PMNT(铌镁酸铅)薄膜的工艺过程.通过XRD和SPM系统地分析了热处理条件(热解温度和退火条件)与PMNT薄膜的形态.结晶和取向的对应关系,已建立起制备高度取向PMNT薄膜的工艺.并成功地在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备成(111)取向的PMNT薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁爱丽	中国科学院上海硅酸盐研究所无机功能材料开放实验室	16	136	6.0	11.0
2	何夕云	中国科学院上海硅酸盐研究所无机功能材料开放实验室	7	39	4.0	6.0
3	邸利锋	中国科学院上海硅酸盐研究所无机功能材料开放实验室	1	1	1.0	1.0
4	罗维根	中国科学院上海硅酸盐研究所无机功能材料开放实验室	8	81	4.0	8.0