用于平板摄像的CdSe靶面淀积参数对摄像特性的影响

• 作者: 刘光诒 吕永积 施化芬 邵佑军
• 来源期刊: 科学技术与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 真空微电子平板摄像管VME FPC真空热预处理VHPT 非真空热后处理NHAT
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 科技快报
• 页码范围: 59-60
• 页数: 2页
• 分类号: TN
• 字数: 1008字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-1815.2002.01.020

摘要

为了开发用于真空微电子平板摄像管Vacuum Microelectronics FlatPanelelCamera Tube(VME FPC)的高灵敏度CdSe多层光导靶面,改建了一台精确控制Cdse材料的蒸发速率、厚度和基体温度的高真空热蒸镀设备,开发了由真空热预处理,非真空热后处理组成的系列新处理工艺,制造出了新的高性能的CdSe多层光导靶.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘光诒	中国科学院电子学研究所	8	13	3.0	3.0