Monte Carlo方法研究低能电子束曝光沉积能分布规律

• 作者: 任黎明 谭震宇 陈宝钦
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 电子束曝光,Monte Carlo方法,低能电子散射,能量沉积
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 原子和分子物理
• 页码范围: 512-518
• 页数: 7页
• 分类号: O4
• 字数: 4593字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2002.03.011

摘要

建立一个描述低能电子在多元多层介质中散射的物理模型,运用Monte Carlo方法模拟低能电子在靶体胶衬底中的复杂散射过程,在此基础上通过大量计算研究入射束能、胶层厚度、衬底材料等不同曝光条件对抗蚀剂沉积能密度分布的影响,获得沉积能分布规律:适量的低束能、薄胶层、低原子序数衬底可以使前散射电子对胶中沉积能密度分布的贡献增大、背散射电子的贡献减小,从而提高曝光分辨率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭震宇	山东大学电气工程学院	32	502	11.0	22.0
2	陈宝钦	中国科学院微电子中心	50	361	11.0	16.0
3	任黎明	中国科学院微电子中心	5	63	4.0	5.0