基于AFM纳米加工机理和方法的研究进展

• 作者: 丁建宁 朱守星 杨继昌 蔡兰
• 来源期刊: 江苏大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米加工 原子力显微镜(AFM) 材料
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 页码范围: 8-13
• 页数: 6页
• 分类号: TH742.9
• 字数: 5092字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7775.2002.03.002

摘要

作者介绍了近期基于AFM纳米加工方法的最新研究进展,探讨了AFM纳米加工过程中的机理,重点分析了利用AFM针尖诱导表面氧化,针尖诱导表面改性,纳米刻蚀加工,纳米化学反应,单分子、单原子操纵及纳米结构组装等6种基于AFM的纳米加工方法,为今后纳米信息产品的研究和开发奠定了基础.纳米加工技术是一门综合性的交叉学科,研究内容涉及到物理学、化学、生物学、材料学以及机械学等许多方面,文中不仅指出了现阶段研究中存在的问题,并提出了今后需要重视的研究方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蔡兰	江苏大学微米纳米科学技术研究中心	124	1736	24.0	35.0
2	丁建宁	江苏大学微米纳米科学技术研究中心	146	769	14.0	19.0
3	杨继昌	江苏大学微米纳米科学技术研究中心	108	1546	22.0	34.0
4	朱守星	江苏大学微米纳米科学技术研究中心	8	44	5.0	6.0