激光技术在微电子工艺中的应用

• 作者: 荣烈润
• 来源期刊: 机电一体化
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子工艺 激光退火 激光划片 激光焊接 激光微调 激光制造集成电路 激光检验与测定
• 年，卷（期）: 2002,（6）
• 所属期刊栏目: 综述·焦点·展望
• 页码范围: 12-15
• 页数: 4页
• 分类号: TN4
• 字数: 4668字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-080X.2002.06.002

摘要

本文介绍了国外在微电子工艺中以激光技术进行激光退火、激光划片、激光焊接、激光微调、激光制造集成电路及其检验等应用的状况.