用离子注入方法实现P型掺杂

• 作者: 张朝定 林育虎
• 来源期刊: 电子元器件应用
• 学科: 工学
• 关键词: P型掺杂 离子注入 衬底 热退火
• 年，卷（期）: 2002,（10）
• 页码范围: 33-34
• 页数: 2页
• 分类号: TN305.3

摘要

讨论用B^+离子注入实现P型掺杂的原理及方法。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林育虎		1	0	0.0	0.0
2	张朝定		1	0	0.0	0.0