大面积均匀纳米金刚石薄膜制备研究

• 作者: Klages C P 姜辛 范正修 龚辉
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 热丝化学气相沉积 纳米金刚石薄膜 等离子辅助
• 年，卷（期）: 2002,（6）
• 所属期刊栏目: 光学技术
• 页码范围: 718-722
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1
• 字数: 3426字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2002.06.019

摘要

报道了一种利用偏压恒流等离子辅助热丝化学气相沉积方法在硅基板上制备大面积均匀纳米金刚石薄膜的新工艺,在不同沉积条件下研究了纳米金刚石薄膜的成核和生长过程,并通过扫描电镜、拉曼光谱和表面粗糙度测试仪观察了纳米金刚石薄膜的结构特征.最后成功制备了直径100 mm、平均晶粒尺寸10 nm的光滑纳米金刚石薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	范正修	中国科学院上海光学精密机械研究所	203	2312	23.0	32.0
2	龚辉	中国科学院上海光学精密机械研究所	3	42	3.0	3.0