高温压力传感器技术研究

• 作者: 蒋庄德 赵玉龙 赵立波
• 来源期刊: 机械工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 高温压力传感器 梁膜组合设计 瞬时冲击
• 年，卷（期）: 2002,（z1）
• 页码范围: 70-72
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 1385字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0577-6686.2002.z1.015

摘要

提出的基于MEMS技术的耐高温压力传感器,采用耐高温SOI力敏元件以及梁膜组合设计,保证传感器有较高频响的同时,具有耐平衡高温和瞬时超高温的能力.研制的耐高温压力传感器可以用于0～220 ℃恶劣环境条件下的压力测量,并能解决1000 ℃的瞬时冲击.给出了传感器的结构模型和实测数据,得到比较满意结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋庄德	西安交通大学精密工程研究所	165	1512	18.0	28.0
2	赵玉龙	西安交通大学精密工程研究所	81	540	14.0	19.0
3	赵立波	西安交通大学精密工程研究所	23	103	7.0	9.0