石英衬底上生长的高光学质量的纳米金刚石薄膜

• 作者: 吴惠桢 石成儒 邱东江
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 纳米金刚石薄膜 射频等离子体增强热丝化学气相沉积 光透过率
• 年，卷（期）: 2002,（8）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 1870-1874
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 2750字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2002.08.042

摘要

采用射频等离子体增强的热丝化学气相沉积(RF-HFCVD)技术在石英玻璃衬底上制备了表面光滑、晶粒致密均匀的纳米金刚石薄膜.用扫描电子显微镜(SEM)和台阶仪观测薄膜的表面形貌和粗糙度,x射线衍射(XRD)和Raman光谱表征膜层的结构,并用紫外-可见-近红外光谱仪测量其光透过率.实验结果表明,衬底温度、反应气压及射频功率对金刚石膜的结晶习性、表面粗糙度及光透过率均有很大程度的影响,其最佳值分别为700℃,2×133Pa和200W.在该最佳参量下经1h的生长即获得连续、平滑的纳米金刚石膜,其平均晶粒尺寸为约25nm,表面平均粗糙度仅为5.5nm,在近红外区的光透过率高达90%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴惠桢	浙江大学物理系	37	219	9.0	12.0
2	邱东江	浙江大学物理系	22	144	8.0	11.0
3	石成儒	浙江大学中心实验室	6	55	5.0	6.0