多层复合真空离子镀膜技术的新发展

• 作者: 张再鸣 李然 王增福 范兵 陈步亮
• 来源期刊: 航天器环境工程
• 学科: 工学
• 关键词: 离子镀 多层镀
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 知识与进展
• 页码范围: 60-62
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 1622字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-1379.2003.01.013

摘要

本文介绍了利用多弧--磁控溅射多功能离子镀膜设备在氮化钛掺金离子镀(IPG)方面的典型应用,并对复合式离子镀膜设备的结构及特点做了介绍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王增福		1	1	1.0	1.0
2	陈步亮		1	1	1.0	1.0
3	范兵		1	1	1.0	1.0
4	张再鸣		1	1	1.0	1.0
5	李然		1	1	1.0	1.0