类金刚石薄膜的微/纳米机械和摩擦性能

• 作者: 刘东旭 张泰华 杨业敏 王秀兰 郇勇
• 来源期刊: 中国航空学报(英文版)
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石膜 显微硬度 纳米压痕 纳米划痕 固体润滑
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 页码范围: 47-51
• 页数: 5页
• 分类号: TG174.444|O484
• 语种: 英文

摘要

采用真空磁过滤等离子电弧沉积的方法在9Cr18钢上沉积不同厚度的DLC膜.为了检测成膜质量,在较宽的载荷范围内分别使用显微硬度、纳米压痕和划痕技术表征9Cr18钢和DLC/9Cr18的机械和摩擦性能.结果显示,9Cr18和DLC的纳米硬度和弹性模量分别为8GPa、250GPa和60GPa、600GPa,9Cr18、DLC和有机膜的摩擦系数分别为0.35、0.20和0.13.纳米压痕和划痕技术能为DLC/9Cr18提供丰富的近表面弹塑性变形和摩擦、磨损等信息.DLC/9Cr18的机械和摩擦性能的研究可以用来评估膜的承载和抗磨损性能.